基板处理方法

本发明的目的在于提供一种可有效地降低基板的图案倒塌率的技术。本发明的基板处理方法具备保持工序、液供给工序、干燥液供给工序、及干燥工序。在保持工序中，保持具有形成有图案的第1主表面、及与第1主表面为相反侧的第2主表面的基板。在液供给工序中，对基板的第1主表面供给处理液。在干燥液供给工序中，在液供给工序之后，将基板的第2主表面的至少一部分加热至干燥液的沸点（bp）以上，且以基板的第1主表面的温度小于干燥液的沸点（bp）的流量，将干燥液供给至基板的第1主表面。在干燥工序中，在干燥液供给工序之后，使基板干燥。