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기록

吸附板、切断装置、及电子零件的制造方法

발명유효
9청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

渡边创; 石桥干司; 高桥和宏

IPC 분류

H10P 54/00 (2026.01)B23Q 3/08 (2006.01)B23Q 11/00 (2006.01)B24B 27/06 (2006.01)B24B 55/06 (2006.01)H10P 72/78 (2026.01)B24B 41/06 (2012.01)

本发明提供一种能够高精度地形成半切槽的吸附板。一种吸附板,对具有基板及树脂层的切断对象物进行保持,所述吸附板包括:基座构件,包括配置在设置有抽吸机构的基台上的基部、及形成为从所述基部向上方突出且形成有能够吸附所述树脂层的吸附面的突出部;以及框状构件,配置成包围所述突出部的周围,且包括形成为位于比所述吸附面更靠上方处的能够载置所述基板的载置面,在所述基座构件及所述框状构件中的至少其中一者形成有排出通路,所述排出通路能够将由所述突出部及所述框状构件规定的规定空间内的异物排出到所述规定空间外。