用于镀覆基板的镀膜机及相应方法

本发明涉及一种用于镀覆基板（6）的镀膜机（1），包括可抽真空的工艺腔室（2）、用于将基板（6）送入和送出工艺腔室（2）的闸阀装置（3）。本发明还具有安装在工艺腔室（2）中的基板支架（5），为了利用镀覆装置（9）被镀覆材料施加到基板（6）上，基板（6）能够被可释放地定位在基板支架（5）上。镀膜机（1）还具有装载装置（9），用于基板（6）从基板支架（5）的自动装载和卸载，以及控制单元（10），用于基于测量到的所施加镀覆材料的镀覆参数值，至少包括所施加的膜层厚度和/或镀覆次数，可调节地控制镀覆装置（9）。镀膜机（1）包括多个功能元件（19），这些功能元件能够通过功能元件支架可再次移除地固定在基板支架（5）上，并且基板（6）能够在镀覆期间可释放地定位在功能元件（19）上。功能元件（19）可基于测量的功能元件参数（20）通过由控制单元（10）调节的装载装置（9）而独立于基板（6）地自动更换。