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기록

用于形成有全并行互连的面板级封装的结构和方法

발명유효
16청구항 · 6 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

安德里亚斯·蒙丁; 拉塞·彼得里·帕尔姆

IPC 분류

H10W 70/65 (2026.01)H10W 70/63 (2026.01)H10W 40/22 (2026.01)H10W 72/00 (2026.01)

本发明涉及一种封装件或预封装件(100a、100b),包括:半导体晶粒(140)和封装所述半导体晶粒(140)的两个接触键合片(200、300)。所述两个接触键合片(200、300)彼此键合。每个接触键合片包括芯层(210、310)和键合层(220、320)。所述芯层包括芯绝缘层(110a、130a)和穿过所述芯绝缘层(110a、130a)的一个或多个金属直通连接(110b、110c、130b)。所述键合层包括在所述芯绝缘层(110a、130a)上形成的绝缘键合层(120a、120b)和在所述一个或多个金属直通连接(110b、110c、130b)上形成的金属键合层(120g、120c、120d)。所述金属键合层设计成电连接和热连接所述半导体晶粒。所述绝缘键合层彼此键合以形成封装所述半导体晶粒的均质绝缘层。