一种高纯度石英管表面清洗设备以及清洗方法

本发明提供一种高纯度石英管表面清洗设备以及清洗方法，涉及一种石英管清洗设备。高纯度石英管表面清洗设备包括：超声波清洗机，所述超声波清洗机内设有清洗槽；链板输送机，所述清洗槽设置在链板输送机的输送路径下，且所述链板输送机的中段凹陷并位于所述清洗槽内，清洗机构，设置在所述链板输送机的顶部一侧，所述清洗机构包括驱动组件、调节组件与处理组件，所述处理组件包括管内清洁机构与管外清洁机构，同时调节组件对石英管道进行往复水平和倾斜姿态切换，倾斜状态便于管内废液及时流出，避免污水残留，再通过超声波清洗机进行清洗，清洗产生的杂质废液直接排入清洗槽，防止杂质滞留管道被带出后造成清洗槽二次污染。