一种光催化芬顿协同碳化硅电化学机械抛光垫及制备方法

本发明提供了一种光催化芬顿协同碳化硅电化学机械抛光垫及制备方法，所述抛光垫包括塑料片及粘贴于其上的聚氨酯多孔层，所述聚氨酯多孔层中设置有光催化剂、二价铁离子螯合物和复合磁性颗粒。制备时，先制得含螯合剂、光催化剂和复合磁性颗粒的聚氨酯树脂，经涂布、凝固、清洗和烘干形成聚氨酯多孔层，再浸入亚铁盐水溶液中，使二价铁离子与螯合剂发生螯合反应，之后与塑料片粘贴并经打磨、切割得到抛光垫。抛光过程中，光生电子促进Fe还原为Fe，加快Fe/Fe循环，复合磁性颗粒在外部磁场作用下调节抛光垫的模量和硬度，从而提高碳化硅晶片的材料去除率、表面质量及连续抛光稳定性。