一种光学膜材上料用USC清洁机构

本发明公开了一种光学膜材上料用USC清洁机构，具体涉及光学膜材清洁技术领域，本发明通过在承载吸附平台上对膜材进行吸附固定，使膜材在清洁过程中保持平整稳定，通过升降板带动封闭单元与承载吸附平台贴合，在膜材上方形成封闭的清洁空间，该清洁空间能够限制清洁气流的扩散范围，使超声波气流、离子风气流和负压吸尘气流集中作用于膜材表面，防止被剥离的粉尘和颗粒物向设备周围扩散，减少二次污染，通过设置除静电组件，能够在超声波清洁前或清洁过程中对膜材表面进行静电中和，降低膜材表面对微小颗粒的静电吸附力，使颗粒更容易被超声波清洁气流剥离；通过超声波换能器和超声波喷嘴的配合，利用高频振动作用使附着颗粒松动。