一种光刻胶灌装安全防护监测方法及系统

本发明公开了一种光刻胶灌装安全防护监测方法及系统，具体涉及光刻胶灌装监测技术领域，该方法采集供液气动阀切断及伺服泵负压回吸区间的瞬态高频压力序列，提取压力回弹幅值与压力衰减时间常数；同步采集喷嘴外围的挥发物浓度梯度序列与向下气流流速序列执行气动稀释补偿，结合环境温度解析实际溶剂挥发速率；将压力回弹幅值与挥发速率关联计算出表面张力破坏指数，并基于衰减迟滞时间差与流体体积弹性模量推算侵入微气泡体积；将微气泡体积转化为反向行程补偿参数驱动伺服泵执行位移补偿抽吸，在破坏指数达临界值时开启氮气正压吹扫单元并联动闭锁主路气动阀。所述系统用于实现上述方法。