三驱动三点差异化柔性连接的升降平台

本发明公开了三驱动三点差异化柔性连接的升降平台，属于精密升降设备技术领域。升降平台包括三组升降驱动单元、三个升降板、载物台、三个连接组件、滑块和导轨。三组升降驱动单元用于分别驱动三个升降板升降。第一连接组件包括关节轴承和柔性铰链板，第二连接组件为双关节轴承，第三连接组件为单关节轴承，三个连接组件呈三角形分布且具有互不相同的自由度约束方式，以吸收三个升降板在升降过程中产生的竖直方向的位置偏差。三个升降板上分别设置有滑块，各滑块与竖直设置的导轨滑动配合。本发明通过三点差异化柔性连接结构，配合干涉测距仪闭环控制，有效吸收三组独立驱动间的瞬时高度差，实现亚微米级平面度精度。