一种晶圆切割保护膜用胶黏剂及其制备方法

本发明公开了一种晶圆切割保护膜用胶黏剂，包括如下组分：氢化聚丁二烯型聚氨酯丙烯酸酯低聚物、软单体、硬单体、特种单体、引发剂、表面改性纳米二氧化硅和溶剂；氢化聚丁二烯型聚氨酯丙烯酸酯低聚物占胶黏剂的比例为10~55%，软单体占胶黏剂的比例为5~30%，硬单体占胶黏剂的比例为0.5~10%，特种单体占胶黏剂的比例为0.1~3%，引发剂占胶黏剂的比例为0.01~3%，表面改性纳米二氧化硅占胶黏剂的比例为0.1~3%，溶剂占胶黏剂的比例为20~70%。本发明胶黏剂制备的保护膜具备合适的涂布粘度、初粘力，较好的180°剥离力、伸长率和拉伸强度，同时在耐水、耐高温和高湿热方面也具有较好的表现，保证晶圆切割制程的顺利进行，提高产品良率。