一种金刚石复合片专用清洗剂及清洗方法

本发明涉及洗涤剂技术领域，尤其涉及一种金刚石复合片专用清洗剂及清洗方法。所述金刚石复合片专用清洗剂，由以下重量份的原料组成：1,1,2,2‑四氟乙基‑2,2,2‑三氟乙基醚 30‑50份，反式‑1‑氯‑3,3,3‑三氟丙烯 12‑18份，反式二氯乙烯 32‑58份，醇类溶剂 1‑5份，缓蚀剂 0.01‑0.1份，稳定剂 0.01‑1份，增效剂 0.01‑5份，功能助剂 0.01‑1份；还包括金属保护剂0.01‑0.05份和螯合剂0.05‑0.2份。通过“预洗‑剥离‑精漂‑自干”的递进式清洗，实现了残留物清除率达98.5%以上、钴流失量低于1.5ppm的优异效果，工艺简单、能耗低，且无需额外烘烤，充分满足金刚石复合片的高标准清洗要求。