一种金刚石-铜复合散热基板及其制备方法

本发明公开了一种金刚石‑铜复合散热基板及其制备方法，属于电子封装散热材料技术领域。该制备方法为：在金刚石颗粒表面沉积钛层；将镀钛金刚石颗粒负载催化剂金属盐后，在氢气气氛中还原处理，使催化剂金属盐转化为金属催化剂颗粒，随后切换为含碳气体气氛进行热处理，使钛层以催化剂颗粒为中心向外生长，原位转化为碳化钛纳米线阵列；将表面修饰的金刚石颗粒与铜粉混合，分层铺填形成金刚石体积分数梯度分布的粉体坯料；烧结后还原性气氛退火即得。本发明通过原位生长碳化钛纳米线阵列显著降低界面热阻，结合金刚石梯度分布实现热膨胀系数调控，解决了现有技术界面热阻高、热膨胀匹配难的问题，制得的散热基板导热性能优异，热循环可靠性好。