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기록

掩膜版及显示面板生产设备

발명알 수 없음
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

殷璐; 赵文炎

출원일

Apr 7, 2025

공개일

Oct 16, 2026

IPC 분류

C23C 14/04 (2006.01)C23C 14/24 (2006.01)H10K 71/16 (2023.01)

本申请提供了一种掩膜版及显示面板生产设备。掩膜版用于在蒸镀工艺中对显示基板作用,以在显示基板上形成图形化的目标膜层,掩膜版包括掩膜主体和第一支撑部件,掩膜主体包括蒸镀区域和外围区域,外围区域环绕包围蒸镀区域,蒸镀区域中设置有多个开口,开口沿掩膜主体的厚度方向贯穿掩膜主体,蒸镀区域沿厚度方向具有第一表面。第一支撑部件设置于外围区域,且第一支撑部与蒸镀区域沿第一方向设置,第一方向与厚度方向垂直,第一支撑部件沿厚度方向凸出于第一表面,第一支撑部件用于与显示基板抵接。其中,第一支撑部件沿厚度方向上具有第一尺寸h1,第一尺寸h1满足关系:1μm≤h1≤10μm。根据本申请能够有效提高显示面板的产品质量。