一种卷对卷连续多源真空薄膜制造系统及其控制方法

本发明公开了一种卷对卷连续多源真空薄膜制造系统及其控制方法，属于真空薄膜制备与卷对卷连续制造技术领域，系统包括卷对卷输送系统、多腔体真空系统、多源沉积系统、气氛与真空控制系统及控制系统；多源沉积系统设于沉积腔内，包含至少两类不同的沉积源，可独立或协同运行，支持多种沉积模式。本发明通过协调控制基材输送、沉积参数与腔室气氛，实现多材料、多层、梯度及复合功能薄膜的连续化制备。系统采用模块化设计，按需配置在线检测、后处理等扩展模块，适配不同工艺需求。本发明适用于但不限于新能源电池、活泼金属薄膜、多层复合薄膜、梯度薄膜、柔性电子及功能薄膜的连续化制备，具有工艺适配范围广、扩展能力强、运行稳定性好的优势。