一种氧化钇涂层退镀液和氧化钇涂层的退镀方法

本发明提供一种氧化钇涂层退镀液和氧化钇涂层的退镀方法，属于涂层退镀领域。具体而言，本发明提供的氧化钇涂层退镀液由1质量份的硝酸、2~5质量份的醋酸、320~400质量份的水组成。本发明提供的退镀液和退镀方法通过多元协同，在高效剥离氧化钇涂层的同时，不会对陶瓷基底造成损伤，可有效提高半导体设备部件的使用寿命，降低晶圆生产成本并提高晶圆良品率，可有效促进高制程半导体设备的发展。