一种LCD摩擦工序加湿机循环系统及湿度控制方法

本发明公开了一种LCD摩擦工序加湿机循环系统，包括加湿机循环单元、环境检测单元和控制单元，所述加湿机循环单元设置于摩擦车间附近，包括纯净水储罐、加湿模块、除湿模块、HEPA过滤器和循环风机，所述加湿模块一端与纯净水储罐管路连接，另一端与HEPA过滤器入口管路连接，所述HEPA过滤器入口还通过管路与除湿模块连接，所述HEPA过滤器出口与循环风机管路连接，所述循环风机出口通过管路连接有若干喷头，所述喷头固定设置于摩擦车间内。本发明通过精确控制摩擦环境湿度，使PI层表面形成导电通路促进电荷泄漏，表面电位从数kV/cm降至500V/cm以内，电位均匀性CV≤15%，静电相关缺陷率降低≥60%。