一种点火安全互锁装置

本申请属于半导体生产制造设备技术领域，具体公开了一种点火安全互锁装置，包括：火焰探测器，用于在接收到点火指令后探测所述炉管设备的点火状态，并给出点火是否成功的第一指示；延时控制器，接收所述第一指示，若所述第一指示指出点火未成功，则所述延时控制器等待第一时间后再次查询所述第一指示，若所述第一指示仍然指出点火未成功，则所述延时控制器给出断开气体供应的第二指示；气体供应单元，接收所述第二指示，并根据所述第二指示导通或断开气体开关以控制气体的供应。本申请的优点在于通过“点火是否成功”的指示与“是否需要通入气体”的指示的相互锁定来确保炉管设备的点火安全。