一种旁置式单频光栅线纹激光干涉仪

本发明属于精密几何量计量与激光干涉测量技术领域，具体涉及一种旁置式单频光栅线纹激光干涉仪，包括通用单频激光干涉仪、旁置式光路单元、光电接收处理单元以及测量采样及处理系统；所述通用单频激光干涉仪包含激光头、干涉分光棱镜、参考角锥棱镜与测量角锥棱镜，用于产生携带位移信息的干涉光，且自身保留完整的通用位移测量功能，本发明通过采用旁置式光路设计，仅截取少量光能量或利用废弃闲置光，完全不改动原通用激光干涉仪的光路结构与硬件，不影响其原有位移测量功能；用户无需重复购置设备，可将单台通用干涉仪同时用于通用几何量检测与专用线纹比长，大幅降低计量设备投入成本。