一种集成光栅与干涉仪结构的法诺共振光纤传感器及其制备方法

本发明公开了一种集成光栅与干涉仪结构的法诺共振光纤传感器及其制备方法，其在光纤基质内部集成构建干涉仪结构和光栅结构，无需分立光学元件和外部连接结构，可提高传感稳定性，实现器件的小型化和一体化。该传感器包括：光纤基质；制备于所述光纤基质内的干涉仪结构，用于对所述光纤基质内的探测光束进行调制以形成具有宽带响应特征的连续干涉谱，其包括传感臂和参考臂，所述传感臂的输入端与所述参考臂的输入端在所述光纤基质的一端相耦合以形成输入端耦合区，所述传感臂的输出端与所述参考臂的输出端在所述光纤基质的另一端相耦合以形成输出端耦合区；制备于所述传感臂内的光栅结构，用于对所述传感臂内的探测光束进行调制以形成具有窄带共振特征的离散共振谱。