一种极紫外高次谐波信号滤波与功率测量装置

本发明提供一种极紫外高次谐波信号滤波与功率测量装置，涉及激光测量领域。本发明包括：两个金属膜切换装置和检测机构；金属膜切换装置包括位移机构、遮光盒以及金属膜装载件，位移机构与金属膜装载件相连接，金属膜装载件可移动地设于遮光盒的内部；两个遮光盒的侧壁之间固定连接，两个遮光盒的侧壁均设有第一通光孔，第一通光孔之间相互连通并形成极紫外光通道；金属膜装载件设有若干个第二通光孔，第二通光孔的内部设有金属膜。本发明可根据目标极紫外高次谐波信号的能量波段及具体实验需求，通过集成式多金属膜切换结构选择相应材料的金属滤膜，在远程控制下实现快速、稳定切换，从而提高系统对不同极紫外波段的适配能力和实验调节效率。