一种具有岛膜结构的光学微腔压力传感器

本发明提供了一种具有岛膜结构的光学微腔压力传感器，涉及光学传感技术领域。传感器包括光学传感结构、抗反射结构、排液通道以及辅助密封结构。光学传感结构中的透射应变膜片采用岛膜复合设计，包括位于中心区域的中心刚性反射凸台和环绕设置于凸台外围的边缘柔性环形薄膜，且凸台的厚度大于环形薄膜的厚度。当传感器受到外部压力时，弹性形变集中于边缘柔性环形薄膜，中心刚性凸台以平动方式产生轴向位移。该结构有效抑制了传统均匀厚度薄膜在大挠度变形下产生的球面畸变，在满量程范围内维持了干涉腔面的高度平行。本发明打破了高灵敏度与宽线性量程之间的相互制约，在保证较高传感灵敏度的同时，提高了反射面平整性并拓展了线性测量范围。