一种视觉系统测量对准失调量的精度标定与验证方法

本发明涉及光学精密测量技术领域，具体提供一种视觉系统测量对准失调量的精度标定与验证方法，包括离线本征精度标定与在线系统级交叉验证的两级递进过程，离线本征精度标定过程中，在专用高精度验证平台上，以激光位移传感器为基准，量化视觉系统自身在理想条件、变工况及存在安装误差下的精度、重复性与补偿效果；在线系统级交叉验证过程中，将经过标定的视觉系统集成至真实干涉检测平台，以基于失调‑彗差模型反演的几何量为独立基准，通过主动引入已知平移失调量，解算不同工况下视觉系统获取的位移变化量相对于基于干涉波前数据获取的位移变化量的差值，进而评定视觉系统的工程可信度。