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기록
一种环形激光器光阑衍射损耗的评估与匹配方法及装置
발명알 수 없음
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G01M 11/02 (2006.01)
本发明公开了一种环形激光器光阑衍射损耗的评估与匹配方法及装置。方法包括:将标准件与待测椭圆光阑置于同一测量工位,以相同成像参数分别采集透光图像;提取轮廓边缘像素,拟合标准轮廓方程完成像素尺寸标定,拟合椭圆方程解算光阑中心、旋转角、长轴和短轴;获取谐振腔腔体光学参数,计算光腰处模场分布参数;以椭圆方程界定的透光区域为积分边界,获得各阶模衍射损耗;根据高阶模衍射损耗及增益条件获得输出镜透射率匹配值,并结合基模衍射损耗阈值完成合格判定。本发明实现了椭圆光阑全几何参数无接触测量与衍射损耗定量计算,可在光阑加工阶段提前筛选不合格腔体并匹配输出镜,解决传统检测参数不全、损耗评估滞后、良品率低的问题。