基于半导体检测设备的对焦方法、系统及程序产品

本申请公开了一种基于半导体检测设备的对焦方法、系统及程序产品，涉及半导体技术领域。该方法包括：对获取到的参考帧和待检测帧分别进行行积分处理，得到参考积分曲线和待检测积分曲线；对参考积分曲线和待检测积分曲线进行互功率谱运算，得到第一互功率谱运算结果，基于第一互功率谱运算结果确定第一相对位移；基于参考帧对应的多个参考对称轴位置进行二次曲线拟合，得到多个二次曲线对称轴位置，基于参考对称轴位置和二次曲线对称轴位置确定第二相对位移；基于第一相对位移和第二相对位移计算得到目标位移量，并按照目标位移量生成电机控制信号，以驱动半导体检测设备中的电机控制物体对焦。根据本申请实施例，能够更为精准、高效实现对焦。