光束重合度控制方法、装置、系统及电子设备

本申请实施例提供一种光束重合度控制方法、装置、系统及电子设备。该方法包括：控制第一偏转镜，使探测光的光斑在样品表面进行二维扫描，并获取每个第一扫描点对应的参数组；以及控制第二偏转镜使泵浦光的光斑置于零位；基于热波信号强度最大的第一扫描点对应的控制参数，控制第一偏转镜；基于热波信号强度最大的第一扫描点对应的第一输出信号，和泵浦光所在的零位计算第一偏移量；若第一偏移量小于预设阈值，则判定探测光和泵浦光的光束重合。本申请的方案，通过采集各扫描点的位置信号与热波信号强度，可基于最大热波信号位置自动计算并判定泵浦光的偏移量，从而实现了实时监测探测光与泵浦光的空间重合度。