基于光谱信号处理的等离子体缺陷检测方法

本发明属于半导体制造工艺中的等离子体刻蚀在线监测技术领域，用于解决现有技术无法使预处理环节能够区分不同物理来源的背景变化，并建立补偿逻辑的自适应截断机制的问题，具体是基于光谱信号处理的等离子体缺陷检测方法，包括：获取等离子体工艺过程中每一采集时刻的光谱强度数据以及预处理环节实时输出的背景估计数据；获取经预处理环节校正后输出的校正光谱数据；响应于过度补偿震荡状态的判定，冻结预处理环节中补偿系数的更新步长；本发明通过提取背景估计数据在相邻帧之间的修正增量，并利用不同波长波段在时域上的响应延时差异将背景变化聚类为同步衰减族与异步漂移族，为后续判定提供区分不同物理来源背景变化的数据基础。