识别氮化镓晶格缺陷的光学检测系统

本发明涉及半导体晶片光学检测领域，具体为识别氮化镓晶格缺陷的光学检测系统；包含照明模块、检测模块、扫描控制模块、扫描执行机构、数据处理模块和显示器；系统输出偏振状态周期切换的紫外光照射晶片，对接收光谐波解调获取谐波幅值以确定偏振旋转量，并与背景阈值比较判定异常像素；其核心是结合偏振调制、谐波解调和分级扫描精准识别晶格缺陷与位错类型；本发明有效克服微弱信号识别难题，兼顾检测精度与全片扫描效率，提升了密集重叠区域判定稳定性。