一种用于实验室铜靶X射线源的双Wolter-Ⅰ型X射线显微镜

本发明提供了一种用于实验室铜靶X射线源的双Wolter‑Ⅰ型X射线显微镜，包括铜靶X射线源、光阑、Wolter‑Ⅰ型聚焦镜、Wolter‑Ⅰ型物镜及X射线成像探测器。铜靶X射线源设置于Wolter‑Ⅰ型聚焦镜的前焦点处，发射特征峰为8.04 keV的连续谱X射线；Wolter‑Ⅰ型聚焦镜将X射线会聚于其后焦点形成照射样品的微焦斑；Wolter‑Ⅰ型物镜的前焦点与聚焦镜的后焦点重合，样品置于Wolter‑Ⅰ型物镜的前焦点处，Wolter‑Ⅰ型物镜收集经样品后的X射线并形成放大图像；探测器设置于物镜后焦点处进行成像。本发明的双Wolter‑Ⅰ型X射线显微镜适用于能量小于等于8.04 keV的实验室X射线光源，可大幅提高X射线成像的分辨率和双Wolter‑Ⅰ型X射线显微镜使用范围。