一种铈掺杂异质结气敏材料及其制备方法和应用

本申请涉及半导体气敏材料技术领域，具体提出了一种铈掺杂异质结气敏材料及其制备方法和应用。气敏材料包括氧化铟和氧化铜，铈掺杂于氧化铟中，氧化铜结合于铈掺杂氧化铟的表面，氧化铜与铈掺杂氧化铟在接触界面处形成p‑n异质结。制备时，先经水热反应和煅烧形成铈掺杂氧化铟，再引入铜前驱体，经水热反应和煅烧得到气敏材料。该气敏材料作为电阻式气敏元件的敏感层用于丙酮检测。本申请增强了较低工作温度下的表面氧吸附和活化能力及界面电荷调制能力，使气敏元件在100℃下对100ppm丙酮的响应值达到3813，对90ppb丙酮仍可产生明显响应，实现较低工作温度下的高响应和ppb级丙酮检测，并具有较好的选择性和长期稳定性。