一种基于双传感变量融合的纵向集成气体传感器、阵列及其控制与制备方法

本发明属于传感技术领域，涉及一种基于双传感变量融合的纵向集成气体传感器、阵列及其控制与制备方法。传感器经敏感层形成电阻与场效应晶体管双层等效结构，并垂直于衬底方向形成纵向堆叠。采用同频且具有固定相位差的脉冲电压激励分别驱动电阻与场效应晶体管等效结构，将单一敏感层的多传感变量转换为两路互不干扰的同频异相离散电流信号。本发明实现从基于单一敏感层的传感器件中提取电阻率和功函数两种传感变量，增加了单个敏感材料输出信号中所携带的气味信息，提升了器件的集成度，减少了基于该传感器构成的传感阵列的芯片占用面积，并降低了功耗，有力推动气体传感器的微型化和集成化。