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案件記録
一种金刚石镀层色谱柱及其制备方法、应用
発明不明
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
杨松雪; 任兴发; 张维冰; 胡晓钧
出願日
Jun 24, 2026
公開日
Oct 16, 2026
IPC分類
G01N 30/60 (2006.01)G01N 30/02 (2006.01)C23C 14/16 (2006.01)C23C 14/06 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 16/27 (2006.01)
本发明涉及色谱分析技术领域,特别是涉及一种金刚石镀层色谱柱及其制备方法、应用。所述色谱柱的制备方法包括如下步骤:将所述第一色谱柱装载至反应腔,反应腔室抽真空;通入惰性气体一,利用高功率脉冲磁控溅射在第一色谱柱内壁沉积第一Cr层;通入惰性气体二,利用高功率脉冲磁控溅射在Cr层上沉积第一CrN层;重复,再依次沉积第m Cr层、第m CrN层,形成过渡层,得到第二色谱柱;采用等离子体活化过渡层表面,随后在活化后的过渡层表面植入纳米金刚石晶种,得到第三色谱柱;采用CVD沉积技术在第三色谱柱内壁制备类金刚石层,得到金刚石镀层色谱柱。本发明的色谱柱具有优异的化学惰性和镀层结合力,适用于复杂样品的分析。
外部リソース