一种改善加速度计零偏温度特性的石英摆片及其制备方法

本发明公开了一种改善加速度计零偏温度特性的石英摆片及其制备方法，解决了现有石英摆片挠性梁正反两侧同时镀膜，正反挠性梁两面的膜层宽度、不完全一致，导致加速度计零偏温度特性差的技术问题，其中改善加速度计零偏温度特性的石英摆片包括圆形支撑环、摆舌和两个挠性梁，摆舌与圆形支撑环上均镀有金属膜层；每个挠性梁的正反两面各设置一个凸台，凸台的一端与摆舌连接，另一端与圆形支撑环连接；每个凸台均为长方体结构，其轴线分别与对应的挠性梁轴线在同一竖直平面内，定义每个凸台的宽均为W，高均为H，挠性梁的宽为w，其厚度为d，则有W=C×w，H=C×d，其中，0.3≤C≤0.4，2≤C≤3；每个凸台的上表面均用于镀膜。