一种探针卡针尖及其制备方法

一种探针卡针尖及其制备方法，探针卡针尖包括针尖基底、以及包覆于所述针尖基底的表面的复合涂料层；所述复合涂料层包括聚酰亚胺基体、碳纳米管和石墨烯；所述碳纳米管定向排列，使所述复合涂料层具有各向异性。本发明通过在针尖基底的表面包覆由聚酰亚胺基体、碳纳米管以及石墨烯构成的复合涂料层，以提高半导体集成电路的制造流程中电性测试的测试稳定性。