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半导体器件检测方法及控制系统、风险预测模型构建方法
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
G01R 31/26 (2020.01)G06F 30/27 (2020.01)G06F 17/11 (2006.01)G06N 3/126 (2023.01)G06F 111/06 (2020.01)
一种半导体器件检测方法及控制系统、风险预测模型的构建方法,属于半导体技术领域。所述检测方法包括:S1:初始化系统并设定初始输入激励参数范围;S2:动态优化初始输入激励参数范围;S3:施加分区间激励信号:S4:修正实际输出结果;S5:第一映射关系的构建;S6:构建仿真软件并生成仿真输出结果,构建第二映射关系;S7:通过对比两组映射关系中的输出结果,判断半导体器件是否合格。本申请通过自适应优化算法动态优化输入激励参数范围,通过持续多轮迭代,可以更精确地找到让器件表现最佳的信号范围,可根据不同器件类型与批次自动调整输入激励范围,特别适用于新型和复杂结构的半导体器件检测,显著提升了检测精确性。