波导电极镀膜与掺杂技术协同波导模的方法

本发明涉及光电子器件与微波器件技术领域，具体为波导电极镀膜与掺杂技术协同波导模的方法，包括：在金属电极表面的目标区域，采用原子层沉积或电泳沉积‑热等静压一体化工艺，制备纳米复合多功能镀膜层，所述镀膜层至少包括导电过渡底层和铁电/压电自适应功能层；在所述目标区域下方的电极基体内部，形成具有三维梯度浓度分布的改性掺杂层；所述镀膜层与所述改性掺杂层的介电常数在层间界面处连续过渡，形成从镀膜层表面至电极基体内部的梯度折射率分布，以此实现对波导内电场分布的整体调控，优先激励预设阶次的波导模。本发明实现了波导电极镀膜层与掺杂层的介电特性协同匹配，显著提升了目标波导模的激励效率。