纳米压印的压印晶圆对准方法、系统及存储介质

一种纳米压印的压印晶圆对准方法、系统及存储介质，涉及纳米压印技术领域。所述纳米压印的压印晶圆对准系统包括压印模板、压印晶圆、多相机成像模块及晶圆运动模块，通过获取模板对准标记的位置信息，将压印晶圆移动至预设初始位置，以使得所述压印晶圆上的至少一个晶圆对准标记位于视场内，将在视场内的晶圆对准标记移动至视场中心处，确定位于所述压印晶圆同角点相邻晶圆对准标记的位置信息，基于同角点两组晶圆对准标记及其模板对准标记的位置间的差别进行第一次对准。本申请根据晶圆对准标记出现在视场中的个数执行对准策略，节省了两套成像系统在预对准时要进行全场扫描，反复对准的过程，有效提高了对准的速度和效率。