一种具有柔性关节的多自由度模板上板装置及压印装置

本发明属于纳米压印技术领域，公开了一种具有柔性关节的多自由度模板上板装置及压印装置，其方案包括：底座、旋转驱动机构、直线驱动机构、柔性垫片和模板托盘；柔性垫片一侧与模板托盘固定连接，另一侧与直线驱动机构固定连接，柔性垫片由弹性材料制成，模板托盘用于放置模板，柔性垫片用于确保模板托盘上板时模板与压印头贴合；旋转驱动机构一侧与直线驱动机构传动连接，另一侧安装在底座上，直线驱动机构用于控制模板托盘沿Z轴做直线运动，旋转驱动机构用于控制直线驱动机构绕Z轴做旋转运动。如此设置，本装置能够用于压印头上模板更换时的输送与安装，通过多自由度的驱动机构设置实现模板上板的精确控制。