负性抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案的制造方法

本发明涉及负性抗蚀剂组合物和抗蚀剂图案的制造方法。本发明提供能够形成形状良好的抗蚀剂图案的负性抗蚀剂组合物。另外，提供使用了该负性抗蚀剂组合物的抗蚀剂图案的制造方法。本发明涉及含有包含式(a2‑1)所示的结构单元和式(a2‑4)所示的结构单元的树脂(A1)、产酸剂(B)、交联剂(E)和分子量为2000以下且具有3个以上酚羟基的芳香族化合物(I)的负性抗蚀剂组合物、以及使用了该组合物的抗蚀剂图案的制造方法。