一种真空炉压力控制系统

本发明公开了一种真空炉压力控制系统。一种真空炉压力控制系统，包括与真空腔体对接的抽气支路，至少两个抽气支路与一总输出管路对接，总输出管路上安装有串联设置的过滤稳压单元，总输出管路对接三个并联设置的输出支路；三个输出支路分别为第一支路、第二支路以及第三支路；第一支路上安装有常闭式第一电磁阀以及手动截止阀；第二支路上安装有常闭式第二电磁阀；第三支路上安装有常闭式第三电磁阀以及电动蝶阀；三个并联的输出支路与二级罗茨泵的输入端对接导通，二级罗茨泵的一个外接端口连接常开式破真空电磁阀，二级罗茨泵的另一个外接端口连接真空旋片泵，真空旋片泵与大气排口对接导通。三条支路并联抽真空，适配多段阶梯真空工艺。