层级化流程标识解析与前置工序验证方法及系统

本发明公开了层级化流程标识解析与前置工序验证方法及系统，具体涉及流程验证技术领域，包括S1、FlowID获取与前缀合法性校验，S2、分层级FlowID父子关系解析，S3、首次测试工序状态判定，S4、测试阶段识别与目录匹配，S5、当前工序重复测试校验，S6、前置工序检索关键字推导，S7、前置工序完整性SMB校验，S8、差异化规则整合输出结果。本发明具备全场景层级解析能力，可适配任意嵌套深度的FlowID标识，实现前缀精准分类识别，可自动区分CP晶圆测试与FT成品测试场景执行对应校验规则，解决了采用一刀切校验规则，易造成产线阻塞或质量漏检的问题。