显微切割逐点视觉闭环动态纠偏控制方法及装置

本发明公开了一种显微切割逐点视觉闭环动态纠偏控制方法及装置，包括：标定阶段，移动执行末端至多个预设位置点，采集像素坐标并同步记录机械脉冲坐标，获得仿射变换矩阵；预备阶段，根据目标切割区域确定切入点及各待切割点的像素坐标，通过仿射变换矩阵映射生成对应的机械脉冲坐标；执行阶段，执行末端按切入点的机械脉冲坐标移动，通过视觉反馈迭代补偿完成切入点定位；随后按各待切割点的机械脉冲坐标序列逐点推进，每点均执行粗定位、视觉测量、偏差补偿及精度校验，直至全部待切割点定位完成。本发明在每个目标点独立执行视觉测量与脉冲补偿，切断误差在时序上的传递路径，消除回程间隙影响，确保全切割轨迹各目标点具备一致的定位精度。