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半导体器件及其制造方法
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10B 12/00 (2023.01)
所述半导体器件包括:沿第一方向延伸的多个字线;沿相对于第一方向的斜线方向延伸的多个有源区,多个有源区被配置为与字线结构重叠;多个位线焊盘区,每个位线焊盘区与有源区的一端重叠;多个存储节点焊盘区,每个存储节点焊盘区与有源区的另一端重叠;多个第一焊盘绝缘区,每个第一焊盘绝缘区与位线焊盘区接触,与字线结构的一侧接触,并且具有第一高度;以及多个第二焊盘绝缘区,每个第二焊盘绝缘区与存储节点焊盘区接触,与字线结构的另一侧接触,具有比第一高度高的第二高度。