一种多晶硅片全自动制绒清洗设备与回收系统及清洗工艺

本发明公开了一种多晶硅片全自动制绒清洗设备与回收系统及清洗工艺，属于晶硅电池湿法加工技术领域。设备主要包括机架、链式输送机构、来料预清洗槽、制绒槽、分片吹扫预清洗工位、分级RCA洁净清洗槽及多级逆流分质水循环单元，机架装配智能联动中控单元。配套设置串联式固渣分离回收系统，实现制绒药液在线多级除渣与硅渣回收。通过前置预清洗、分片吹扫自清洁、分级纯水逆流回用、在线固渣分离及全工序智能联动控制，解决传统制绒工艺硅渣堆积、药液衰减快、水洗混流浪费、硅片洁净度差的问题。整套设备结构紧凑、自动化程度高、节水降耗、绒面均匀性好，实现多晶硅片单面粗化高精度连续量产，适配高效光伏电池规模化生产需求。