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柔性有机电化学晶体管独立栅极及制备方法
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§ Ⅰ
개요
IPC 분류
H10K 10/46 (2023.01)G01N 27/414 (2006.01)H10K 71/16 (2023.01)
本发明公开了柔性有机电化学晶体管独立栅极及制备方法,涉及有机电化学晶体管、柔性电子器件及电化学生物传感技术领域。独立栅极包括聚酰亚胺柔性基底、设置于所述聚酰亚胺柔性基底表面的、金属栅极层和仅局部贴合于所述金属栅极层中部导电区上方的聚酰亚胺绝缘封装层;金属栅极层沿长度方向依次形成裸露的功能端、连续封装导电区和裸露的电学接触端,连续封装导电区阻止中部金属与电解质接触,使功能端完全浸入电解质后,继续改变独立栅极插入深度时有效金属‑电解质接触面积基本保持不变,从而降低栅极界面状态及有机电化学晶体管测试结果的离散性。该方法无需SU‑8光刻,工艺简单、柔性兼容性好,适用于有机电化学晶体管的标准化测试及生物传感。