静电吸盘旋转角度偏差的监测方法

本申请公开了一种静电吸盘旋转角度偏差的监测方法，包括：将衬底吸附于静电吸盘上，步进旋转静电吸盘，使其依次处于多个预设扭转角，并在各预设扭转角下对衬底进行离子注入，并获取各次离子注入后衬底的热波信号表征参数；计算不同预设扭转角下所获取的热波信号表征参数之间的差异量；根据差异量，判断静电吸盘在步进旋转过程中是否存在角度偏差，其中，角度偏差使得所述衬底的法线方向与离子束入射方向之间的有效倾斜角相对于设定倾斜角发生偏离。本申请方法可以实现对多步离子注入过程中静电吸盘旋转后可能出现的角度偏差的及时监测，有利于降低产品电性失效与报废风险。