一种具有氮气循环功能的立式炉晶圆盒存储装置

本发明涉及半导体行业中晶圆制造技术领域，具体涉及一种具有氮气循环功能的立式炉晶圆盒存储装置。该装置集成有模块化氮气循环、闭环自适应控制、状态诊断预警及冗余供气单元。通过分布式气体管理实现氮气局部净化与循环利用，降低消耗；闭环控制基于实时监测，采用时序精准调控与空间补偿策略，确保各存储位环境均一；状态诊断系统通过分析压力动态识别供排气或密封异常并预警；冗余供气单元保障故障时环境连续稳定。该装置显著提升晶圆存储的均一性与稳定性，降低氮气消耗与运维成本，适用于先进制程半导体制造。