一种用于集成电路加工的输送机构

本发明涉及集成电路输送技术领域，公开了一种用于集成电路加工的输送机构，包括带动中间盘多位置移动及翻转的移动架、升降架和调节架，收纳壳上的内部杆能够插入中间盘内的固定管；固定管内的多组锁套受贴壁槽、双向块、弹簧和连接簧共同约束，在内部杆插入后形成上下双向自锁，气缸经顶部架和随动套带动磁圈移动，使多个锁套切换至同轴释放位置。该机构能够快速安装和拆卸收纳壳，并在升降、平移及翻转输送过程中保持连接稳定。