基板输送装置的示教方法和基板处理装置

本发明涉及基板输送装置的示教方法和基板处理装置。为了将基板适当地配置于基板处理装置的载置台而对输送臂的设定位置进行示教。对于本公开的示教方法，在具备驱动控制部的基板输送装置中，所述驱动控制部进行控制以使输送基板的输送臂移动到预先设定的设定位置，所述示教方法包括以下工序：针对3个基准方向分别实施包括以下工序的循环：沿着一个基准方向使载置台和保持于所述升降销的所述基板中的至少一者倾斜；向所述载置台交接所述基板；由所述输送臂接收在所述基准方向上滑动而到达载置面的缘部内周的所述基板；所述基板的位置检测；根据所述位置检测结果确定目标位置；以及将所述目标位置设定为所述设定位置。