板构件、校正方法、基板处理方法、物品制造方法及基板处理装置

提供有利于使搬运基板的机械手的位置校正所使用的板构件的定位变容易并减少板构件破损的技术。板构件为了校正搬运基板的机械手的位置而被配置在具有突起部的载台上，然后由上述机械手从上述载台搬运，该板构件具备第1面，该第1面在上述载台上配置了上述板构件的状态下与上述载台相向并且设有供上述突起部插入的开口，在与上述第1面垂直的截面中，规定上述开口的侧面之中的与上述第1面连接的至少一部分具有开口宽度朝着上述第1面侧变大的形状，并且包括朝着上述开口的内侧凸出的曲线部分。