药液、抗蚀剂图案的形成方法、半导体芯片的制造方法、药液收容体及药液的制造方法

本发明提供一种作为预湿液使用时缺陷抑制性优异的药液。本发明还提供抗蚀剂图案的形成方法、半导体芯片的制造方法、药液收容体及药液的制造方法。本发明的药液含有环己酮及选自包括通式（1）所表示的化合物、通式（2）所表示的化合物及通式（3）所表示的化合物的组中的1种以上的第1化合物，所述药液中，环己酮的含量相对于药液总质量为98.000～99.999质量%，第1化合物合计含量相对于所述药液总质量为0.001～100质量ppm，所述药液可作为预湿液使用。